據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，5nm 工藝量產(chǎn)已兩年的臺(tái)積電，正在推進(jìn) 3nm 工藝的量產(chǎn)事宜，這一制程工藝在去年下半年已風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，按計(jì)劃將在今年下半年大規(guī)模量產(chǎn)。

　　而除了 3nm 制程工藝，臺(tái)積電也在謀劃更先進(jìn)的 2nm 工藝的量產(chǎn)事宜，這一工藝計(jì)劃在 2025 年量產(chǎn)。

　　外媒的報(bào)道顯示，臺(tái)積電在近期已宣布，他們將投資 340 億美元，推動(dòng) 2nm 制程工藝的量產(chǎn)，他們已經(jīng)獲得了建廠土地的租賃許可。

　　另外，有外媒在報(bào)道中表示，臺(tái)積電的高層，正在同相關(guān)方，就建設(shè) 2nm 制程工藝工廠所需的土地進(jìn)行談判，超過 90% 的業(yè)主已經(jīng)同意，預(yù)計(jì)最遲在 6 月份能獲得建廠所需的全部土地。

　　除了土地，臺(tái)積電 2nm 制程工藝工廠在廠房的建設(shè)方面也需要大量的資金，但花費(fèi)最多的，預(yù)計(jì)會(huì)是更高端的極紫外光刻機(jī)和其他的先進(jìn)設(shè)備。

　　臺(tái)積電從第二代的 7nm 工藝開始采用極紫外光刻機(jī)，隨后量產(chǎn)的 5nm 等先進(jìn)制程工藝，都需要極紫外光刻機(jī)，他們也從阿斯麥采購(gòu)了大量的極紫外光刻機(jī)，而更先進(jìn)的 2nm 工藝所需要的將是高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。

　　阿斯麥已經(jīng)推出的 TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 極紫外光刻機(jī)中，最先進(jìn)的 TWINSCAN NXE:3600D 最高也只能支持 5nm 和 3nm 工藝的量產(chǎn)。

　　而從阿斯麥一季度的財(cái)報(bào)來(lái)看，他們?cè)诮衲暌患径冉桓?3 臺(tái)極紫外光刻機(jī)，營(yíng)收 5.94 億歐元，平均一臺(tái)的售價(jià)接近 2 億歐元。未來(lái)推出的支持 2nm 制程工藝的更先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)，售價(jià)將會(huì)更高。
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